- 產品品牌:zx
- 產品型號:M306961
產品說明:
主要特點:
·最適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。
·采用聲光報警。
技術指標:
檢測對象氣體 半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
檢測原理 熱線型半導體式
采樣方式 自動吸引式
可檢測濃度
單位:ppm 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示 蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
應答速度 10秒以內
新手教學
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