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產品主要用於光刻工藝中的前烘和堅膜。本產品具有烘膠速度快、均勻、控溫精度高等特點，可長時間連續穩定工作。本產品操作方便、穩定性高，具有較高的性能價格比，可廣泛應用於科研和生產。
烘膠板材料不銹鋼
烘膠板規格ø200mm
烘烤溫度≤200℃
控溫精度±2℃
控溫形式采用溫控機PID調節（功率調節），自動測溫，控溫
外形尺寸280×360×220mm
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