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全部目錄
型號 | ES-CMM1086 | ES-CMM1218 | ES-CMM1521 |
X軸 | 800mm | 1000mm | 1200mm |
Y軸 | 1000mm | 1200mm | 1500mm |
Z軸 | 600mm | 800mm | 1000mm |
結構型式 | 活動橋式 | ||
傳動方式 | 直流伺復系統/預載荷高精度空氣軸承 | ||
長度測量系統 | HEIDENHAIN開放式光柵尺,分辨率為0.5um (可選配0.1um) | ||
機臺 | 高精度花崗石平臺(00級) | ||
使用環境 | 溫度(20±2)℃,濕度55%-65%,濕度梯度1℃m,溫度變化1℃/h | ||
空氣壓力 | 0.4MPa-0.5MPa | ||
空氣流量 | 100L/min-120L/min | ||
整機尺寸(LWH) | 2.0m×1.5m×2.7m | 2.3m×1.8m×3.0m | 2.6m×2.1m×3.3m |
機臺承重 | 1000kg | ||
整機重量 | 2000kg | 2200kg | 2500kg |