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本套光盤目錄如下：

1-BG156884 在具有金屬部件的反應器中處理半導體時減小金屬污染物的方法
2-BG156884 用于在半導體處理反應器中各次清洗之間增大晶片處理量的裝置和方法
3-BG156884 用于半導體處理反應器的噴頭電極設計
4-BG156884 用于半導體處理等離子反應器的多部分電極以及替換多部分電極的一部分的方法
5-BG156884 以青蔥為模板和反應器一步合成IIB族硫化物半導體納米材料的方法
6-BG156884 用于半導體反應器的排氣調節系統
7-BG156884 用于半導體工藝件處理反應器的氣體分布裝置及其反應器
8-BG156884 一種用于制備氮化物半導體襯底的HVPE反應器
9-BG156884 高頻超脈沖三維半導體電極水處理反應器技術
10-BG156884 一種多功能超聲微波協同化學反應器及其制備納米半導體硫屬化合物的方法
11-BG156884 單室反應器中制造半導體器件的方法
12-BG156884 球形半導體光伏器件生長反應器

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