規格參數 ：
機 型 | LMG D5- | LMG D5- | LMG D5- | LMG D5- | LMG D5- | LMG D5- | LMGD5- | LMG D5- | LMG D5- | LMG D5- |
顯示器 | D5型雙顯示幕顯示器 | |||||||||
制造商 | 東京光電子工業株式會社 | |||||||||
品 牌 | TOE | |||||||||
光 源 | Wave Length∶ 670nm，可視光半導體 | |||||||||
測量范圍 | 0.01~2 | 0.00~12 | 0.2~30 | 0.2~30 | 0.5~55 | 0.5~60 | 0.5~80 | 0.5~80 | 0.7~150 | 0.7~220 |
最小 解析值 (μm ) | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 1 | 1 |
重現性 | ± 0.2 | ± 0.2 | ± 0.3 | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 1 | ± 2 | ± 2 |
直現性 | ± 0.3 | ± 0.5 | ± 1.5 | ± 2 | ± 2 | ± 2.5 | ± 2.5 | ± 4 | ± 8 | ± 12 |
總合精度 (μm ) | ± 0.5 | ± 1 | ± 2 | ± 3 | ± 3 | ± 4 | ± 4 | ± 5 | ± 12 | ± 15 |
掃描頻率 | 1800回 / 秒 | |||||||||
掃描速度 | 42 | 110 | 172 | 172 | 350 | 350 | 350 | 420 | 560 | 420 |
使用溫度℃ | 0~45 | |||||||||
電 源 | AC85～ 260V, 50/60Hz, 30VA | |||||||||
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