XD-CVD（升級型）石英管式微波等離子體裝置
性能簡介
DM-CVD型石英管式微波等離子體裝置，是由微（微波）、空（真空）、水（水冷）、電（電控）、機（機械結構）等5大體系協調一致，構成一個有機整體。整機性能優良，美觀大氣。
1．微波系統
1）科技產品要以人為本。其它廠傢的同類產品有微波泄漏現象，盡管泄漏劑量沒有超標，不排除個別場點接近臨界。產品的直接使用者是專傢教授，是大學生，是肩負強國使命的科技精英，保障他們的人身安全和健康是機器制造商義不容辭的職責。為此本廠投入大量人力財力，運用波導抗流技術解決微波泄漏問題，獲得圓滿成功——DM-CVD產品實現微波零泄漏。
2）本廠在治理泄漏的同時著力提高微波系統的工效，結構創新有大的舉措，將諧振腔波導和阻抗匹配波導合為一體，大幅度改善瞭整機性能。三螺釘、反射板調節響應好，諧振腔起輝閾值低，等離子炬保持能力強。
2．真空系統
1）DM-CVD的真空系統通過優化管路結構、改進密封措施以後，硬管走線簡捷工整，軟管聯接距離最短。本措施使DM-CVD在不增大真空泵功率的前提下，有能力吸納更大流量的工作氣體，排放更大流量的反應尾氣，提高鍍膜、刻蝕功效。
2）DM-CVD的真空系統配有3路工作氣體入口，其中2路直達反應室，第3路供用戶自主聯接，靈活多變，適應各種不同實驗和加工的配氣要求。
3）DM-CVD的真空系統配有尾氣濾清凈化裝置，確保人員安全，環境優雅。
3．水冷系統
1）DM-CVD的水冷系統含高效制冷機、大流量增壓泵、大容量儲水箱（50升），外裝智能溫控表、管式液位計，提供瞭充足、方便、安全、節水的冷卻水源。
2）波導諧振腔的水套采用對旋雙環流水道，顯著改善瞭冷卻效果（同類廠傢是單側註入排出式，另一側的積水幾乎不參與循環，不僅冷卻效果差，而且極易造成熱水瀦留，埋下隱患）。
3）樣品臺支桿采用粗直徑夾層套，流量大、冷卻效率高，避免密封圈受熱，也突破瞭整個水冷系統中的阻滯瓶頸；更進一步，樣品臺也通水冷卻，做到瞭極致創新（同類廠傢隻有細套冷卻，有的乾脆不通水）。
4．電控系統
1）本機采用繼電控制系統，啟停調節安全有序，工況指示機表齊全、準確醒目，麵板排列工整美觀，外接端口規整方便。
2）如果在缺水狀態下開啟微波系統，設備會拒絕接通高壓電路，並且發出聲光報警信號，直到操作者將冷卻水系統的故障排除，方能正常啟動。
3）本機接地電路設計合理，避免瞭其它廠傢重復搭鐵、隔離搭鐵等權宜措施，使機況穩定，運行安全。
5．機械結構
1）主機和冷水機分兩體制造。主機適合桌麵擺放，冷水機有萬向輪，適合落地擺放。好處有2：
①兩體式重量分散，方便搬運、方便擺放，便於室內空間綜合利用，便於
冷水機與其它設備共享，總效果優於其它廠傢的一體高櫃式結構。
②主機擺放在普通桌麵上，波導光學窗、機表、各種調節部件高度適中便於觀察調節，避免瞭其它廠傢（高立櫃式）的控制麵板和波導系統高高在上、遙不可及、調節觀察均不方便的弊端。
③由於妥善理順瞭電路搭鐵問題，波導系統才可以緊固在主機頂部，穩定可靠，美觀大氣；機頂盒容納高壓部件及線路，安全、便捷、抗乾擾。
2）反應室內的樣品臺高度可調，調節機構巧妙靈活，豪華大氣，好看又好用。可調行程寬裕，下止點略低於波導下平麵，便於用足反應室空間；上止點可達上法蘭與上水套接口處，便於實驗完畢輕松取出樣品而不必拆卸反應室。其它廠傢無此部件，從而也無此方便。
3）考慮到用戶室內空間並不寬裕，DM-CVD盡力做到機內結構緊湊合理，以減小整機體積，使之與用戶室內佈局和原有實驗臺匹配相容，成為一款濃縮的精品，摒棄瞭其它廠傢為突顯高價位而膨脹體積和高度
（高立櫃式）的經營理念。
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