測量參數 : Ra 、 Rq 、 Rz 、 R3z 、 Rt 、 Ry(ISO) 、 Ry(DIN) 、 Rm 、 Rp 、 Sm 、 S 、 Sk 、 Tp 等

取樣長度 : (mm) 0.25 0.8 2.5 (inch) 0.01 0.03 0.1
評定長度 Ln :3 ～ 5Cut-off ；
掃描長度 Lt : 5 ～ 7Cut-off ；
最大行程長度 Ltmax ： 17.5(mm)/0.7(inch) ；
最小行程長度 Ltmin:1.3(mm)/0.052(inch) ；
機器示值誤差： ≤±10% ；
機器示值變動性： < 6% ；
觸針：金剛石圓錐；
觸針針尖角度： 90° ；
針尖圓弧半徑： 5μm ；
LCD 顯示： 160×128 點 ( 帶背光 ) ；
串行接口： 3 線 RS232 接口；
工作電壓： 7.2 V ；
工作電流： < 120mA ；
背光工作電流： < 60mA ；
電源： 6×1.2V 鎳氫 (NiMH) 充電電源，容量：鎳氫 (NiMH)1000mAh ；
電源適配器： 1A/12V ， 220V ；
工作環境：溫度： 0 ～ 40℃ ，相對濕度：＜ 90%

重量 ( 主機、驅動器及傳感器 ) ：約 1700g ；
外形尺寸 ( 主機 ) ： 230mm×180mm×50mm