內徑：6mm-500mm
材質：sus304/316L/321
真空漏率：1×10-10Pa·L/S 使用壽命：100萬次
多晶爐真空管道與爐體的連接采用波紋管連接，可以減少震動的傳播，並補償管路連接的位置誤差。爐底固定在機架平麵上，其中心孔是坩堝軸的找正基準，孔下端與坩堝驅動裝置用波紋管密封連接。動態性能好，適合高溫環境。
除常規尺寸外，特殊規格及材質可按客戶需要進行加工制作。
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