拡張ISO Class1,10nm対応 バータイプイオナイザー AeroBarMP モデル5635
モデル5635 エアロバーMPイオナイザーは、先端半導體製造工程等100nm以下の微小パーティクル管理が必要な箇所の除電用途に開発された超低パーティクル対応製品です。
特長
- ワールドワイドにて無類の採用実績を有する単結晶シリコン電療は超低パーティクル特性と伴に電療材料によるメタル汚染リスクを回避
- 獨自のMP(パルス変調)方式により、イオンを効率よくターゲットに運ぶ高い除電性能
- 100mm距離にても使用可能な小電位スイング特性及びバー長に渡り偏りの少ないイオンバランス
- インテリジェント制禦回路によりイオン発生狀態とイオンバランスを常時自動管理
- 1/4回転で脫著可能な交換式電療はメンテナンス工數の削減に寄與
- 電位スイングが非常に小さなMP方式の特徴により、セットアップが簡便化また、電位スイングの小ささが長期イオンバランスを管理基準內に保つことにも有効に作用
- 半導體前工程用EFEMに即した長さのバーを設定
- 24V DC駆動コントローラ內臓のコンパクト設計
- ワールドワイドにて高いレベルのサポートネットワークが利用可能
仕様
Model 5635 AeroBar MP| 24V DC +/-10% |
| 最大約13.5kv p-p 調整可能 |
| 100mm～1000mm(エアパージ無し) |
| コロナ放電方式 MP (パルス変調）方式 変調週波數 1 ～ 33 Hz |
| 自動バランス調整方式 <+/-10V內 バー直下 位置による差異 <+/-10v (600 mm距離） |
| 単結晶シリコン電療 交換可能 |
| クリーンドライエア或いはN2 |
| 310Kpa |
| <0.05ppm(24時間積算値) |
| アラームIO オープンコレクタ出力 |
| 高さ78mm x 奧行34mm x 長さは下記 |
| 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 /1900/2050/2200/2350mm |
| ABS樹脂 |
拡張ISO Class1,10nmとは？
拡張ISO Class1,10nmについて 微小パーティクル管理に対応するためION Systemsにて獨自に定めたクリーン度の定義です。ISO14644-1は最小粒徑100nmにて定義されています。拡張ISO Class1,10nmとはISO14644-1と同じ許容パーティクル數の算出式を用いており、その許容パーティクル數は10nm以上の粒徑にて1200pc/m3(34 pc/ft3)となります
新手教學
批發市場僅提供代購諮詢服務，商品內容為廠商自行維護，若有發現不實、不合適或不正確內容，再請告知我們，查實即會請廠商修改或立即下架，謝謝。
