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碳分子篩空分制氮裝置，一般稱制氮機其工藝流程是采用在常溫下變壓吸附法（簡稱PSA法），變壓吸附為無熱源的吸附分離過程，碳分子篩對吸附組分（主要是氧分子）的吸附容量因其分壓升高而增加，因其分壓的下降而減少。這樣，碳分子篩在加壓時吸附，減壓時解吸，放出被吸附的組分，使碳分子篩再生，形成循環操作。
變壓吸附過程，循環操作包括：吸附、降壓、釋放、沖洗，然後再充壓，吸附幾個工作階段，形成循環操作過程。
PSA制氮機根據流程的再生壓力不同，可分為真空再生和常壓再生流程。一般為常壓再生流程，原料空氣經空壓機壓縮調壓後，進入冷卻器和除油系統，再經過濾器進入碳分子篩吸附塔，吸附塔的上部排出產品氮氣，被吸附的氧氣直接排放到大氣中，實現碳分子篩的再生。
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