型號:FM-CVD 系列
本裝置用2.45GHz微波激發Φ50mm石英管腔內的稀薄氣體,產生穩態等離子球,除瞭開設等離子體基本知識技能實驗課之外,還可完成等離子體化學沉積、等離子體氣相刻蝕等實驗,用以制備金剛石膜或其它多種功能薄膜,或制備小臨界尺寸超大規模集成電路。本裝置是由微波、真空及供氣、水冷等3個獨立系統協調匹配而成的,適用於大學物理、化學、材料等學科的學生實驗和教師科研。
尺度:1.4×1.5×0.6m3;重量:100kg
- ¥2052.00
- ¥6800.00
- ¥10000.00
- ¥280.00
- ¥10000.00
- ¥1500.00
- ¥5500.00
- ¥650.00
- ¥700.00
- ¥950.00
- ¥1480.00
- ¥3380.00
- ¥1950.00
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