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    Spin Coater
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    Spin Coater

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          Spin coater是在半導體晶片或基板上， 均勻塗層Photoresist薄膜的設備，可根據制造薄膜的基板和溶劑的種類，適用不同的Spin速度和時間，能均勻塗層至基板的邊緣。

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