TY系列復合分子泵參數表

技術數據

TYFB-600復合分子泵

TYFB-1200復合分子泵

TYFB-1600復合分子泵

高真空法蘭(mm)

150 CF

160 ISO-K

200 CF

200 ISO-K

250 CF

250 ISO-K

前級管道法蘭(mm)

40 KF

40 KF

50 KF

抽氣速(L/S)

600

1200

1600

壓縮比

N2

>109

>109

>109

H2

>8X103

>1X104

>1X104

極限壓強(Pa)帕

<8×10-8

<5×10-7

<8×10-8

<5×10-7

<8×10-8

<5×10-7

電機轉數(n／min)

24000

24000

21000

振動值

≤0.1μm

≤0.1μm

≤0.15μm

啟動時間(min)

<5

<5

<6

建議采用的前級泵

4-8 L／S

8-15 L／S

15 L／S

冷卻方式

水冷(風冷)

水冷(風冷)

水冷(風冷)

風冷泵環境溫度

≤25℃

≤25℃

≤25℃

水冷冷卻水溫度

≤20℃

≤20℃

≤20℃

水冷冷卻水流量(L/min)

1

1

1

泵體烘烤溫度

<120℃

<120℃

<120℃

加熱器功率(w)

<550

<600

<700

加熱器輸入電壓(v)

AC220

AC220

AC220

安裝方向

垂直±5°

垂直±5°

垂直±5°

泵重量(kg)

≈29

≈34

≈39

TY系列復合分子泵安裝尺寸表

數據

TYFB-600復合分子泵

TYFB-1200復合分子泵

TYFB-1600復合分子泵

高真空法蘭

150 CF

160 ISO-K

200 CF

200 ISO-K

250 CF

250 ISO-K

D1

φ202

φ180

φ253

φ240

φ305

φ290

D2

φ236

φ236

φ267

φ267

φ296

φ296

D3

□145.7

□145.7

□167.6

□167.6

□183.8

□183.8

L1

128

128

142

142

161

161

L2

137

137

152

152

166

166

H1

395.5

395.5

393

393

394

394

H2

108

108

108

108

110

110

H3

135.5

135.5

135.5

135.5

142.5

142.5

H4

104

104

104

104

104

104

泵腿螺釘孔

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8

4-M8