B.主要技術指標: 1、測量原理:垂直方向:觸針法,電感傳感器; 水平方向:光柵傳感器; 2、驅動箱水平滑行范圍:100mm; 3、驅動箱滑行速度:0.1,0.2,0.5,0.8,1mm/s; 4、傳感器返回形式:手動,自動; 5、基準導軌的直線性:1μm/100mm; 6、驅動箱升降:滾動絲杠升降系統,機動升降,自動對準零位; 7、立柱垂直測量高度:260mm; 8、工作臺結構:460mm×620mm大理石平臺; 9、形狀測量系統: 1) 測量范圍:垂直20mm,水平100mm; 2) 測量精度:垂直±0.2%,水平±0.004%; 3) 垂直分辨力:0.06μm/4mm,0.3μm/20mm; 4) 水平分辨力:1μm ; 5) 測量參數:垂直距離,水平距離,兩直線夾角,圓弧半徑,圓心-直線距離、圓心-圓心距離、直線度、圓度等形位公差參數; 6) 圓形放大倍率:最大10000倍無級連續放大; 7) 傳感器測桿長:230mm; 8) 測針長度:22mm; 9) 針尖角度:11°; 10) 針尖半徑:25μm; 11) 測力:0.02-0.06N; 12) 傳感器滑行角度:上升角≤77°,下降角≤88°; 10、微觀輪廓測量系統 1) 測量范圍:垂直400μm,水平100mm; 2) 表麵粗糙度示值誤差:≤±5%; 3) 最小分辨力:垂直0.6nm,水平1μm; 4) 取樣長度:0.08,0.25,0.8,2.5,8mm; 5) 評定長度:N×k倍取樣長度,N=1,2,3,4,5;N為行程長度內任意整數倍; 6) 粗糙度測量參數:Ra,Rc,Rp,Rv,Rz,Rq,Rsm,Rt,Rsk,Rku,Rdq,Rmr; 7) 波紋度測量參數:Wa,Wc,Wp,Wv,Wz,Wq,Wsm,Wt,Wsk,Wku,Wdq,Wmr; 8) 原始輪廓測量參數:Pa,Pc,Pp,Pv,Pz,Pq,Psm,Pt,Psk,Pku,Pdq,Pmr; 9) 微觀輪廓測量參數:│X2-X1│,│Y2-Y1│; 10) 圖像分析功能:支承率曲線、幅度分佈曲線、輪廓峰密度等。 11) 輪廓圖形垂直放大倍率:最大100000倍無級連續放大; 12) 輪廓圖形水平放大倍率:最大50000倍無級連續放大; 13)傳感器測針:金剛石棱錐,錐角90°,針尖半徑2μm; | C.機器的組成: 1、基本配置: ●立柱 ●驅動箱 ●電箱 ●微機、打印機 ●粗糙度傳感器(標準、剛性) ●形狀傳感器 ●V型工作臺 ●調斜工作臺 ●平口鉗 ●校對樣塊 ●高度校準器具
2、可選附件(價格另議) ●粗糙度圓弧傳感器 ●粗糙度深槽傳感器 ●粗糙度小孔傳感器 ●萬向工作臺 ●可根據用戶要求設計專用形狀測針和粗糙度傳感器 ●多功能V型塊 ●輪廓機專用底臺 ●角度校準器具 ●標準球校準器具 |