1. MCV-5002激光多普勒幹涉儀
1) MCV-5002由二個單光束激光頭和一個雙通道處理器組成的儀器，具有二套獨立的位移測量系統。
2) MCV-5002具備瞭單光束儀器MCV-500和雙光束儀器MCV-2002的特點。
2. MCV-5002主要測量功能
1) 直線位移測量
2) 大型龍門式機床主動軸從動軸直線位移同步測量功能
3) 分軸步進對角線測量。
4)角偏測量
5)直線度測量
6)兩導軌平行度測量
| MCV-5002基本技術參數 | 激光頻率穩定性 | ±0.05ppm | ||
| 氦氖激光管 | 2級 | |||
| 激光輸出功率 | ＜1mW | |||
| 激光管壽命 | 40000小時 | |||
| 空氣溫度傳感器精度 | ±0.1 ℃ | |||
| 空氣壓力傳感器精度 | ±1.1mmHg | |||
| 材料溫度傳感器精度 | ±0.1 ℃ | |||
| 環境溫度（濕度） | 5-38 ℃（0-95％） | |||
| 電源電壓（電源頻率） | 90-265V（50-60Hz） | |||
| 線性位移測量 | 測量距離 | ≥30m（60m,100m可選） | ||
| 分辨率 | 1nm | |||
| 精度 | ±0.5ppm | |||
| 最大速度 | 4m /秒 | |||
| 主從動軸同步性檢測 | 數據采樣速率 | 1-1000個數/秒 | ||
| 角偏(俯仰角、偏擺角) | 測量距離 | ≥30m（60m,100m可選） | ||
| 分辨率 | 0.2秒 | |||
| 精度 | ±0.2%±0.2 秒 | |||
| 測量范圍 | 角度：±10 度 | |||
| 最大速度 | 4m /秒 | |||
| 直線度測量 | 測量距離 | ≥30m（60m,100m可選） | ||
| 精度 | ±0.2%±0.01 微米 | |||
| 測量范圍 | ±1000 微米 | |||
| 最大速度 | 4m /秒 | |||
| 向量法體對角線檢測 | 分辨率 | 1nm | ||
| 精度 | ±0.5ppm | |||
| 測量范圍 | 3m×2m×1m | |||
| 最大速度 | 4m /秒 | |||
| 可檢測出機床3個定位精度、6個直線度、3個垂直度誤差 | ||||
| 垂直度檢測 | 用SD附件 | 同上 | ||
| 兩導軌平行度檢測 | 最大距離 | ≥30m（60m,100m可選） | ||
| 分辨率 | 1nm | |||
| 精度 | ±1ppm | |||
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