1、產品型號及技術規格
序號 | 項目 | 技術參數 |
1 | Si-PIN探測器 | 致冷方式：采用2級半導體致冷 探測器晶體厚度：500μm 探測靈敏麵積：13mm2 樣品最小測試麵積為1mm Be窗厚度為：1mil 最佳分辨率: 145eV 集成MCA多道脈沖分析系統，2048道(最高8192道) |
2 | 高壓電源 | 高壓范圍0-50KV，功率50W，8h穩定性0.05% |
3 | 光管 | 熒光分析機專用光管，最大功率50W，管壓范圍0-50KV，靶材為Mo靶, 設計壽命大於15000小時 |
4 | 濾光片 | 專用三種自動切換 |
5 | 準直器 | Ø1mm Ø2mm、ø4mm |
6 | 微動平臺 | 手動調節 |
2、其他規格：
序號 | 項目 | 參數 |
1 | 測試樣品種類： | 金屬鍍層，合金鍍層，測量層數10層（根據不同材質而定） |
2 | 分析軟件 | Ux-720FlexFP-Multi技術 |
3 | 檢出范圍 | 0.003um-30-50um（根據不同材質而定） |
4 | 工作環境 | 溫度 15～30℃ 濕度 ≤85% （不結露） |
5 | 樣品倉： | 330*360*100mm |
6 | 工作區： | 開放工作區自定義 |
7 | 重 量 | 約48Kg |
8 | 電 源 | AC220V～240V、50Hz |
9 | 額定功率 | 350W |
10 | 測量時間 | 30-120S（系統自動調整） |
3、機器外圍配件:
序號 | 項目 | 技術參數 |
1 | 計算機 | CPU: P4 2.6GHz以上 內存：2G 硬盤: 500G 顯示器:19英寸寬屏 光驅: 8X以上光驅 |
2 | 打印機 | 彩色噴墨 |
3 | 標準物質 | 樣品固定支架一隻，窗口支持薄膜50張，保險管3支 |
4、軟件實現功能:
1 | 滿足客戶測試膜厚的需求 |
2 | 提供開放式工作曲線標定平臺,可為用戶量身定做最佳的檢測和控制方案； |
3 | 多語種軟件界麵可供選擇。 |
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