| 機器型號 | SY-554 | SY-564 | SY-8106 |
| 測量行程 | 500*500*400（X Y Z） | 500*600*400（X Y Z） | 800*1000*600（X Y Z） |
| 光學尺解析度 | 0.5um | 0.5um | 0.5um |
| 測量軟件 | 美國IQ CMM-MANAGER 軟件 | ||
| 接觸式測頭 | 英國 RENISHAW MCP (MH20i+TP20選配） | ||
| 操作方式 | 手動 | ||
| 線性精度 | E=3+L/300 um | E=3+L/300 um | E=3+L/300 um |
| 重復性精度 | 3um | 3um | 3um |
| 機器重量 | 800kg | 850kg | 2500kg |
| 全機尺寸 | 1100×1300×2300mm | 1100×1400×2300mm | 1500×1900×2800mm |
| 工件限高 | 400 mm | 400 mm | 500 mm |
| 工件限重 | 300 KG | 300 KG | 800 KG |
| 環境要求 | 溫度: 20±2℃ 濕度: 60±5% | ||
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