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旋轉臺 | 直徑:0.01um~75um |
| 旋轉精度:(0.04+6H/10000)um(H=Probing height測量高度) |
| 旋轉速度:6rpm |
| 工作直徑:150mm |
| 中心范圍:±3mm |
| 升降范圍:±1° |
| 最大探測直徑:280mm |
| 最大工件直徑:440mm |
| 最大工件重量:20kg |
垂直圓柱 | 位移范圍:280mm |
| 粗/微進給:粗進給 約30mm/rev 微進給 約1mm/rev |
| 最大測量高度(OD):280mm |
| 最大測量高度(ID):280mm |
| 最大測量深度:100m2m(使用標準測頭時12AAB681) |
水平支臂 | 位移范圍:165mm |
| 粗/微進給:粗進給 約30mm/rev 微進給 約1mm/rev |
空氣補給 | 空氣壓力:390kPa |
| 空氣消耗:每分鐘45升(正常情況下) |
探頭與測針 | 測量范圍:±1000um |
| 測量力:70至100mN(7至10gf) |
| 測量方向:雙方向切換測頭 |
| 標準測頭(12AAB681):硬質合金球ф1.6mm |
性能參數 | |
| 數字濾波:2CR-75%/50%,2CR-75%/50%(相位校正),Gaussian-50% |
| 截止值:低通:15upr,50upr,150upr,500upr |
| 帶通:15-150upr,15-500upr,50-500upr |
| 參考圓:LSC,MZC,MIC,MCC |
| 資料分析項目:圓度、同心度、同軸度、垂直度、平麵度、平行度、 |
| 壁厚偏差、徑向圓周跳動、軸向圓周跳動、與軸的同軸度、與平麵的垂直度 |
| 放大陪率:100X-200,000X、自動或任意 |
| 數據采樣點:最多1,800點/轉 |
| 可測量截麵個數:大於5 不大於100 |
| 處理器:配備瞭Roundpak-100的PC |
| 記錄器:外部打印機(選件) |
| 氣壓:390kpa |
| 耗氣量:30L/min |
| 電源供給:100V-240V AC,50/60Hz |
| 電源消耗:40VA最大(不含PC) |
尺寸 | 主裝置: 660*415*620mm |
| 空氣過濾裝置:210*130*190mm |
重量 | 主裝置:40kg |
| 空氣過濾裝置:2kg |
標準附件 | |
| 1、標準測頭(12AAB681) |
| 2、增益調整膜(350365) |
| 3、測量分析軟件Roundpak100 |
| 4、用戶手冊 |
選配配件 | |
| 1、快速卡盤(211-032) |
| 2、參考半球(211-016) |