INFICON 高壓熱電離 Pirani真空計 HPG400 將高壓熱電離技術與 Pirani 傳感器整合在一個體積小、價格低的規管中,可測量 2 X 10-6至大氣氣壓(1.5 X 10-6至大氣氣壓)范圍內的壓力。 HPG400 提供高可重復性和再現性壓力測量,實現精確控制鍍濺過程壓力。
典型應用:
1、半導體制造中的濺射工藝應用,電子學的媒體工業
2、工業鍍膜
3、在低至高真空范圍中系統的一般真空測量和控制
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