用途：檢測挺柱的厚度並分組。
基本組成：高精度電子檢具、校準件和計算機及相應的軟件系統。
主要技術指標：
1、分辯力：0.1µm；
2、測量的重復性：0.5µm。
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用途：檢測挺柱的厚度並分組。
基本組成：高精度電子檢具、校準件和計算機及相應的軟件系統。
主要技術指標：
1、分辯力：0.1µm；
2、測量的重復性：0.5µm。
