型號 EP-1510 EP-2010 EP-2515 工 作 臺 金屬工作臺麵尺寸 300×170mm 350×170mm 420×250mm 玻璃臺麵尺寸 175×127mm 225×120mm 290×190mm X坐標行程 150mm 200mm 250mm Y坐標行程 100mm 100mm 150mm Z坐標行程 90mm X,Y坐標數顯分辨率 0.001mm 軸向測量精度 (3+L/100)um 投 影 屏 投影旋轉范圍 0~360度 旋轉角度數頁分辨率 0.01度 平麵及表麵輪廓精度 0.08% 投影屏尺寸 直徑315mm 直徑415mm 物 鏡 放大倍率(任選其一) 10× 20× 50× 10× 20× 50× 物方視場范圍(直徑) 30mm 15mm 6mm 40mm 20mm 8mm 物方工作距 75mm 35mm 15mm 81mm 71mm 65mm
高穩定度機身底座
大推力摩擦傳動系統
高精度線性導軌
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