系統規格

測量方法             3D，非接觸

                     白光乾涉法（WSI）White Light Scanning Interferometry

                     相移乾涉法（PSI） Phase Shift Interferometry

鏡頭                 可選變焦鏡頭

                    （見可選配件）

物鏡                （見可選配件）

掃描方法             16bit線性差動變壓器閉環控制壓電掃描

傳感器分辨率（CCD） 640480，1/2”

傾斜度調整           手動調整±6°

Z軸行程             手動，100mm(見可選配件)

Z軸調節             手動，30mm

工件平臺             230×230mm，最大載重5KG

物鏡固定架           手動，可選配5種鏡頭

光源                 100W程控鹵鎢燈

控制器               獨立運作控制器

計算機               HP Compaq,17”LCD顯示器（不低於此配置）

操作系統             Windows XP

軟件                 操作軟件：NanoView

                     分析軟件：NanoMap

                     自動拼接功能

震動隔離裝置         >1.8HZ的減震隔離設計

*提供電腦工作臺

尺寸（長×寬×高）   主機，480×630×680mm

                     隔離裝置，750×750×710mm

重量                 主機，80KG

                     隔離裝置，80KG

性能規格

    掃描范圍           270?（見可選配件）

    掃描速度           高精度模式，2.4?/秒

                       高速模式，7.2?/秒

    Z軸精度重復性     ＜0.5%，基於高精度模式的測量標準

    垂直分辨率         WSI＜0.5nm

                       PSI＜0.1nm

    視場范圍           與變焦鏡頭/物鏡有關（見視場范圍表）

    橫向抽樣           與變焦鏡頭/物鏡有關（見橫向抽樣表）

    *Z軸的重復性與工作環境有關

工作環境要求

    溫度                23℃±2.0℃（1.0℃/15分鐘）

    房間濕度            ＜60%

    震動                不低於VC-B

功耗

     電壓               220V±5%, 60Hz, 單相

     氣壓               > 6.0Kgf/cm2 , 入口直徑6mm

    可選配件

         物鏡              2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x 乾涉法

                        2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x 物鏡

     變焦鏡頭           0.5x, 0.75x, 1.0x, 1.5x, 2.0x

     Z平臺             電動，100mm（不包含默認Z平臺）

     掃描范圍           270?,壓電掃描

                        5mm，電動掃描

     臺階高度標準       厚臺階標準（8?）  

                        薄臺階標準（88?）

視場范圍 / 橫向抽樣 表 

(640480, 1/2” 相機)

   *視場范圍/橫向抽樣值是理論值