商品描述:
產品特點及用途 |
結合光學顯微鏡與白光乾涉機功能的掃描式白光乾涉顯微鏡,結合顯微物鏡與乾涉機,不需要復雜光路調整程序、兼顧體積小、納米分辨率、、易學易用等優點、可提供垂直掃描高度達400um的微三維測量,適合各種材料與微組件表麵特征和微尺寸檢測。應用領域包含: |
★ 晶圓(Wafer) ★ 光盤/硬盤(DVD Disk/Hard Disk) ★ 微機電組件(MEMS Components) ★ 平麵液晶顯示器(LCD) ★ 高密度線路印刷電路板(HDI PCB) ★ IC封裝(IC Package) 以上其它材料分析與組件微表麵研究 |
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