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MKS 1579_數字橡膠密封大流量質量流量控制器

量程范圍：            50, 100, 200, 300 slm

最大輸入壓力：        100 psig

工作壓差：            50, 100 slm 15 to 60 psid;200 slm 25 to 60 psid;300 slm 40 to 60 psid

控制范圍：            2 to 100% of F.S.

控制精度：            ±1% of F.S.

可重復性：            ± 0.2% of F.S.

溫度系數（零點）：     < 0.05% of F.S. /°C

溫度系數（全程）：     < 0.10% of F.S. /°C

熱機時間：            < 30 min

控制設定時間：        < 1 s typica

l壓力系數：           ± 0.02% of Rdg/psi

操作溫度：            15°C to 40°C (59°F to 104°F)

設定輸入信號：        0 to 5 VDC from < 20 kΩ

輸出信號：            0 to 5 VDC into > 10 kΩ

模擬電氣接頭：        15-pin Type “D” male; Profi bus 2 x 9-pin Type “D” male (analog) and female (Profi bus)

本體材料：            316L S.S.T, Nickel, Viton®;Buna-N, Neoprene®, Kalrez®

氦泄漏率：            < 1 x 10-9 scc/sec He

管道接頭：            8 VCR® male;8 VCO® male, DN 16 KF;1/2” Swagelok®, 12 mm Swagelok®;4 VCR® male (for 50 slm only)

新手教學

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