SF6微量測漏機 原理：
負離子捕集式偵測器（Nic）無放射源亦不需氬氣或其它高壓氣體
敏感度：1×10-7cc/sec，1ppm，0.2gm/yr
顯示：cc/sec，gm/yr及ppm
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SF6微量測漏機 原理：
負離子捕集式偵測器（Nic）無放射源亦不需氬氣或其它高壓氣體
敏感度：1×10-7cc/sec，1ppm，0.2gm/yr
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