產品特點：
超高精度全自動測量，CNC四軸控制；
采用高精度花崗巖底座、主柱，保證長期穩定性；
核心組件全部采用全球頂尖品牌；
全鼠標/搖軒自動化控制，簡單易用；
全方位組合式照明配置，適應各種物體尺寸的測量；
自動對焦，保證測量精確性；
自動對焦，保證測量精確性；
自動對焦測高，可加配接觸式測針。
技術參數
型號 | IVG2010 | IVG3020 | IVG4030 | IVG5040 | |
行程(mm) | 200×100×200 | 300×200×200 | 400×300×200 | 500×400×200 | |
外部尺寸(mm) | 1040740X1620 | 1040740X1620 | 1240800X1620 | 14401000X1620 | |
承重(kg) | 25 | 25 | 25 | 25 | |
測量精度 | XY軸 | (2.5+L/200)µm | |||
Z軸 | (5+L/200)µm | ||||
CCD | 百萬像素彩色CCD | ||||
光學系統 | NAVITAR鏡頭，光學放大倍率：0.5x - 4x，總放大倍率：36x - 288x | ||||
光源 | 輪廓光 | LED方形光源，亮度可調 | |||
表麵光 | 多角度LED環形光源，亮度可調 | ||||
光柵尺分辨率 | 0．5µm | ||||
運動控制 | 多軸高精度運動控制卡 | ||||
軟件 | microscopeium | ||||
電源 | 220V/50Hz | ||||
工作環境 | 溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度40～80% | ||||
振動<0.002g，低於15Hz | |||||
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