ORC生產設備，ORC精準自動光蝕刻的曝光設備，EXP-2050，

日本ORC，光源用設備，電子電路板生產設備，精準自動光蝕刻的曝光裝置；

安定した搬送技術とアライメント技術と光學系を組み合わせて、金屬板や被膜に細線パターンを形成する露光裝置です。

特　徴：

1.低発塵：
ハンドラによって基板を吸著して、パッケージ化された構成部品によるセクション間を搬送する真空吸著方式を採用していますので、完全なパーティークルフリーの露光環境を提供できます。

2.高精度：
基板をプリアライメント部にセンタリングした後に、カメラ機構部に移動して基板マークとマスクマークを確認、位置整合する自動アライメント方式です。高性能多値化畫像処理と高い信頼性のメカ機構により、高精度な位置合わせ精度を実現しています。

3.高解像力：
コリメーション?ミラー、コールド?ミラーとフライアイ?レンズを組み合わせた高精度平行光光學系により、パターンニングに最適な光線を維持します。

4.対話式タッチパネル：
対話式タッチパネルで操作が簡単です。

型號：EXP-2050

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