*平行平晶是以光波乾涉原理為基礎,利用平晶的測量麵與試件的被測量麵之間所出現的乾涉條紋來測量被測量麵的誤差程度。
*平行平晶具有高精度的平麵性和平行性。
*平行平晶用於檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規和千分尺卡規等量具測量麵的平麵度和兩相對測量的平行度。平行平晶共分四個系列,每個系列各分六組,每組四塊。
功能:平行平晶用於乾涉法測量千分尺、卡規和千分表等測量麵平麵度、平麵平行度。
產品規格:
每組平行平晶共四塊,分四個尺寸系列組
測量麵上平麵度偏差:平麵度局部偏差: >0.03μm
平行平晶技術要求
組別 | 兩工作麵的平行度 | 工作麵的平麵度 | 2/3d范圍內的平麵度 |
I、II | 0.6 | 0.1 | 0.05 |
III | 0.8 | 0.1 | 0.05 |
IV | 1.0 | 0.1 | 0.05 |
組Ⅰ | 平行平晶 | 0-25mm | 4塊/組 |
組Ⅱ | 平行平晶 | 25-50mm | 4塊/組 |
組Ⅲ | 平行平晶 | 50-75mm | 4塊/組 |
組Ⅳ | 平行平晶 | 75-100mm | 4塊/組 |
平行平晶尺寸系列表
組號 | 0-25 | 25-50 | 50-75 | 75-100 |
1 | 15.00,15.12 | 40.00,40.12 | 65.00,65.12 | 90.00,90.12 |
2 | 15.12,15.25 | 40.12,40.25 | 65.12,65.25 | 90.12,90.25 |
3 | 15.25,15.37 | 40.25,40.37 | 65.25,65.37 | 90.25,90.37 |
4 | 15.37,15.50 | 40.37,40.50 | 65.37,65.50 | 90.37,90.50 |
5 | 15.50,15.62 | 40.50,40.62 | 65.50,65.62 | 90.50,90.62 |
6 | 15.62,15.75 | 40.62,40.75 | 65.62,65.75 | 90.62,90.75 |
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