日本春日2通道靜電監測機 KSD-0120 KS-2100
能用1臺控制器連接最大2ch的幅度電位傳感器(KS-2100)、能廉價地制造靜電監視系統。
?因為是小型傳感器部、能設置在各種制造裝置內比較窄的地方、連續監視可能。
?因為有警報設定、如果在超越瞭設定的電位時、能與各種制造裝置傳動。
?裝備檢出傳感器的故障表示LED、能輸出到外部。
１臺の制禦器で最大２ｃｈのワイド電位センサー（KS-2100）を接続することができますので、安価に靜電気監視システムが構築できます。
?センサー部が小型のため、各種製造裝置內の狹い場所に設置でき、連続監視が可能です。
?警報設定ができますので、設定した電位を超えた場合に、各種製造裝置と連動することができます。
?検出センサーの故障表示ＬＥＤを裝備し、外部に出力できます
●用途
?フラットパネルディスプレイ生産工程での帯電量監視。
?半導體ウェハー帯電量監視。
?ＬＳＩのハンドリング中やプリント基板搬送中の帯電量監視。
| 寸法?各部の名稱 |
| ■寸法単位[mm] |
■本體部
■センサー部
●仕様
■表示部
| 型式 | KSD-0120 |
| 表示範囲 | レンジ① ±１～±１９９９Ｖ |
| レンジ②±０．０１～±１９．９９ｋＶ | |
| アナログ出力 | ０～±５Ｖ |
| 測定精度 | ±１０％以內 |
| 警報設定 | ２チャンネル獨立設定及びプラスマイナス獨立設定 |
| 警報出力 | オープンコレクタ（警報設定出力及びセンサー故障出力） |
| 電源 | ＤＣ１２～２４ＶまたはＡＣアダプター |
| 消費電力 | ２０ＶＡ |
| 環境 | 溫度０～４０℃、濕度６５％ＲＨ以下（結露なきこと） |
| 質量 | 約３６０ｇ |
■センサー部
| 型式 | KS-2100 |
| 検出方式 | 振動型表麵電位センサー |
| 測定範囲 | レンジ① ±１～±２０００Ｖ |
| レンジ② ±０．０１～±２０．００ｋＶ | |
| アナログ出力 | ０～±５Ｖ |
| 測定精度 | ±１０％以內 |
| 測定基準距離 | レンジ① １０ｍｍ |
| レンジ② ５０ｍｍ | |
| 警報 | 検出センサー故障ＬＥＤ表示、外部出力 |
| 電源 | ＫＳＤ－０１２０より供給 |
| 環境 | 溫度０～４０℃、濕度６５％ＲＨ以下（結露なきこと） |
| 質量 | 約１００ｇ（ケーブル含まず） |
| 付屬品 | 専用ケーブル５ｍ（最大１００ｍ迄可能） |
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