TRANSPECTOR 2 氣體分析系統 | |
| 高靈敏性改善污染控制 Transpector® 氣體分析系統是一種 RGA，可在半導體制造業中，為真空過程監控、過程診斷和泄漏檢測提供精確而可靠的數據。 與之相比，Transpector 2 提高瞭氫氣靈敏度，使下限達 ppm 量級的污染均可一覽無餘，低電平信號下的掃描速度快達四倍，動態掃描范圍更為寬泛，可在更低的可檢分壓強下提供更純凈的數據。 功能概覽
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