PPM100監控RGA
- 單機RGA控制器
- 8道工序控制
- 壓力隨時間變化曲線
- 4路模擬量輸入/輸出端口
- RS-232，GPIB和USB
- 網站啟用
PPM100 SRS殘餘氣體分析機是一個獨立的控制器/監控。測量部分的SRS的RGAs與總從四個電容壓力計的壓力的壓力。圖形輸出可在觸摸屏上的液晶顯示屏。PPM100包括8道工序的控制能力，四個模擬量I / O端口，RS-232，USB和GPIB計算機接口，一個網絡接口。
PPM100監控RGA
PPM100 SRS殘餘氣體分析機是一個獨立的控制器/監控。測量部分的SRS的RGAs與總從四個電容壓力計的壓力的壓力。圖形輸出可在觸摸屏上的液晶顯示屏。PPM100包括8道工序的控制能力，四個模擬量I / O端口，RS-232，USB和GPIB計算機接口，一個網絡接口。
殘餘氣體分析
PPM100設計來監視和控制一個單一的SRS RGA。一個菜單驅動的用戶界麵，使操作員能夠很容易地編程RGA前麵板的參數（即，沒有PC主機）。RGA數據可以被看作是一個模擬掃描，分壓隨時間的泄漏的趨勢（瓦特/音頻信號）或單質讀數。此數據也可以被鏈接到報警，過程控制繼電器，模擬端口，用於閉環控制的特定成分氣體。
模擬I / O
PPM100有四個可配置的模擬量I / O端口。這些可以用作輸出以控制輔助設備，真空設備，如加熱器，執行器，離子源，可編程邏輯控制器和油門控制器。作為輸入，可同時監控多達四個電容壓力計。
數據記錄
所有機表（和所有模擬輸入）數據存儲在一個用戶定義的速率。典型的應用包括捕捉泵或放空曲線的在沉積過程中，監測質量流量控制器信號，監測溫度和時間依賴性變量在bakeouts或熱處理。
過程控制
PPM100提供8個繼電器與相應的TTL輸出。每個通道都可以鏈接到一個特定的分壓，狀態條件（如長絲的開/關）時，系統時鐘，模擬I / O端口，或TTL輸入信號。繼電器和TTL輸出也可以手動控制的前麵板，可以顯示所有八個通道的狀態。
此外，還有七個TTL輸入觸發功能，如開/關，德加，長絲等全過程控制事件的時間戳記，並記錄在內存中，並可以隨時查看。用戶可編程的聲光報警和短信可以提供預先警告潛在的問題。
Web訪問
內置嵌入式Web服務器連接PPM100萬維網（密碼保護）。EWS可以到任何標準的互聯網瀏覽器提供的測量數據。使用EWS來監視和控制您的真空系統或獲得的潛在或實際系統問題的自動電子郵件通知。
| 顯示 | |
| 類型 | 背光，觸摸屏液晶顯示器（4.7“診斷。） |
| 決議 | 320×240像素 |
| 模式 | 數字，棒圖，P與T |
| 單位 | 毫巴，托，酒吧，PA和微米 |
| 數字分辨率 | 3位尾數加指數 |
| 更新率 | 每秒2個樣本 |
| 模擬I / O | |
| 端口 | 4個可配置的模擬端口 |
| 范圍 | ±12 VDC |
| 決議 | （14位），12位（OUT） |
| 更新率 | 2赫茲 |
| 連接器 | BNC |
| 電容壓力計 | |
| 壓力表 | 同時讀出的四個電容壓力計使用的輔助輸入。 |
| 輔助電源輸出 | ±15 VDC，100毫安（CM發電） |
| 過程控制 | |
| 的信道數 | 8個通道，可編程設定值，極性，滯後，延遲，音頻信號和短信。 |
| 輸入信號 | 總壓力（CM壓力表），氧分壓（RGA），電壓（模擬量I / O端口），時間（內部時鐘），TTL和壓力表狀態。 |
| 輸出信號 | 繼電器和TTL電平 |
| 繼電器 | SPDT，C型，5 A / 250 VAC / 30 VDC，電阻負載 |
| TTL輸出 | 低電平有效，光電隔離 |
| 手動 | 所有通道都可以在前麵板上操作。 |
| 遙控TT??L控制 | 7光電隔離通道的開/關，德加（FIL /關，數據記錄復位，費爾鎖定，按鍵鎖定，屏幕啟用/禁用，遠程啟用/禁用） |
| 一般 | |
| 接口 | RS-232，USB和GPIB（標準）。以太網接口/嵌入式Web服務器 |
| 功率 | 90至264 VAC，47到63赫茲，60瓦 |
| 工作溫度 | 0°C至40°C，無冷凝，濕度90％ |
| 重量 | 11磅。 |
| 尺寸 | 8.5“×5.25”×16“（WHL） |
| 保 | 一年部件和人工材料和工藝方麵的缺陷 |
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