這是氦質譜檢漏的輔助抽空設備,由機械泵和羅茨泵組成的抽空系統,可將被檢工件迅速抽真空至10Pa以下,直接對工件進行檢漏。
分為兩組工位,一組抽空,另一組進行檢測裝卸試件,交替進行,提高工作效率。
羅茨泵啟動快,無油,不污染試件,氣動閥門流導大,利於抽空,備有標準頭及附件,方便與各類試件忽然各型號氦質譜檢漏機連接。整個系統由可編程控制器(PLC)控制,運行有序,平穩。
該排氣臺特別使用於批量大,檢漏靈敏度要求高的工業產品,例如微波發射管,高壓開關 等。
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