新宇宙XP-703D半導體氣體檢漏機
特點:
最適合於檢測半導體氣體的微量泄漏。
采用聲光報警。
規格
檢測對象氣體 半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、矽烷、氫氣等)
檢測原理 熱線型半導體式
采樣方式 自動吸引式
可檢測濃度(單位:ppm)砷烷、磷烷、乙硼烷、矽烷、氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示 蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍
應答速度 10秒以內
新手教學
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