商品代碼:3596907

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    日本新宇宙 XP-703D 半導體特氣檢漏機(自動吸引式)
    商品代碼: 3596907
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    特點:
    最適合於檢測半導體特氣的微量泄漏。
     采用聲光報警。

    規格

    型 號

    XP-703D

    檢測對象氣體

    半導體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、矽烷、氫氣等)

    檢測原理

    熱線型半導體式

    采樣方式

    自動吸引式

    可檢測濃度
    (單位:ppm)

    砷烷 磷烷 乙硼烷 矽烷 氫氣
    AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
    0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

    檢測表示

    蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍

    應答速度

    10秒以內 



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