- 測量單位:公制、英制
- 測量原理:觸針法
- 傳感器:帶尋頭的電感式傳感器,測尖2 µm (80 µin),測力約為0.7 mN
- 測量參數:Ra, Rq ,Rz等值於Ry(JIS),Rmax, Rp,Rp(ASME), Rpm(ASME),Rpk,Rk,Rvk,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo.Rt,R3z,RPc,Rmr等值於tp(JIS,ASME),RSm,R,Ar,Rx
- 程序語言:14種語言可選擇包括3種亞洲語言
- 測量范圍:350 µm/180 µm/90 µm(自動選擇)
- 輪廓度分辨率:32nm,16nm,8nm(自動選擇)
- 截止波長lc*::0.25 mm, 0.8 mm, 2.5 mm; automatic (0.010 in, 0.030 in, 0.100 in)
- 測量長度Lt*:1.75 mm, 5.6 mm, 17.5 mm; automatic (0.069 in, 0.22 in, 0.69 in)
- 測量長度(按照MOTIF標準):1 mm, 2 mm, 4 mm, 8 mm, 12 mm, 16 mm (0.040 in,
0.080 in, 0.160 in, 0.320 in, 0.480 in, 0.640 in) - 平定長度ln*:1.25 mm,4.0mm,12.50mm(0.050in,0.15 in,0.50in)
- 其他功能:模塊化設置(源代碼保護),日期/時間
*符合ISO/JIS標準 |