| X | Y | Z |
測量范圍(mm) | 300~1,500 | 300~2,000 | 50~ 300 |
分辨率(µm) | 0.5/0.1 | ||
最大允許誤差 | 1.0+L/300~3.5+L/300 | ||
最大速度(mm/s) | 400 | ||
空氣需求(kg/c㎡) | 4,25 | ||
成像系統 | 1/2" 高精掃描CCD測頭 | ||
照明系統 | LED環形燈(紅色或白色) | ||
可選項 | 接觸式測頭 |
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