產品特征簡要說明（Introduction）：
瑞士TRIMOS公司生產的TR-Scan非接觸表麵粗糙度（微觀形貌）測量機， 系統核心選用數字全息三維顯微鏡測量技術（DHM）,廣泛應用於高精密微觀表麵檢查。與傳統非接觸測量技術相比，測量速度快，對振動不敏感，真正的實現三維形貌納米級測量。模塊化的設計理念，可配置共聚焦顯微鏡系統，探針測量系統，傳感器直接更換，方便快捷，極大的滿足瞭不同的應用范圍。即可用於計量單位和材料科學研發實驗室，也廣泛應用在工業制造領域：汽車、航天、航空、表麵塗層、醫療產品、微型電機系統、半導體等行業。
■TR-Scan主要特點：
◆非接觸式測量原理，無損化檢測粗糙度，微觀形貌
◆獨有的數字全息三維顯微技術，真正實現3D微觀形貌測量
◆創新的成像原理，從原理上保證瞭對外界振動不敏感，Z軸分辨率高
◆激光找正工件並自動定位，測量速度快
◆模塊化的設計概念，多種光學光路原理，直接更換傳感器，不需要調整，方便快捷
◆可非標定制相應的測量頭，滿足不同客戶的特殊工件測量要求
◆即可選用數字全息技術實現高精密表麵測量，也可選用色譜共聚焦技術實現微觀輪廓測量或選用接觸式探針實現內壁粗糙度測量
◆慣用瞭TRIMOS“智能用戶界麵”的理念，測量過程全自動，操作簡單
◆采用專業的3D形貌分析軟件，功能強大，即可實現2D輪廓測量，也可進行3D形貌分析
◆可進行編程批量檢測並自動生成分析報告
◆完全兼容2D標準，並已內置即將制定的3D標準ISO25178
技術參數：
| 型號 | TR Scan100 | TR Scan200 | TR Scan300 | ||
| 工作臺移動范圍X | 固定式 | 100mm | 100mm | ||
| 工作臺移動范圍Y | 固定式 | 固定式 | 100mm | ||
| 工作臺移動范圍Z | 固定距離 | 240mm | 固定式 | ||
| XYZ軸最小位移量 | 0.1um | ||||
| XYZ軸最定位精度 | 1um | ||||
| 工件最大重量 | 20kg | ||||
| 機器重量 | 80kg | ||||
| 測量頭： | DHM S2(全息) | DIA P1(接觸式) | CCM(共焦) | ||
| 垂直分辨率（Z） | 0.1nm | 10nm | |||
| 軸向分辨率（XY） | 0.6um | 1um | |||
| 最大測量范圍（Ra）1） | 1um | 20um | |||
| 最大測量范圍（Rz）1） | 5um | 100um | |||
| 最大允許誤差（Ra） | 1% | 5% | |||
| 重復性（Ra，1） | ＜0.1nm | ＜9nm | |||
| 樣品反射率 | 1%-100% | - | |||
| 測量光斑大小 | 0.25*0.25mm | ||||
| CCM(共焦): | |||||
| 共焦測量頭 | CL1 CL2 CL3 CL4 CL5 CL6 | ||||
| 垂直測量范圍（um） | 100 300 1100 3000 10000 20000 | ||||
| 工作距離（mm） | 3.3 11 12.7 16.4 29 19.6 | ||||
| 縱向分辨率（um） | 0.005 0.012 0.025 0.075 0.280 0.600 | ||||
| 縱向精度（um） | 0.02 0.06 0.2 0.4 0.9 3 | ||||
| 最大爬坡能力（deg） | +/-43 +/-28 +/-27 +/-22 +/-14 +/-8.6 | ||||
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