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技術參數
VMU222
VMU322
VMU432
VMU542
行程(mm)
200×200×200
300×200×200
400×300×200
500×400×200
外部尺寸(mm)
1200×950×1750
1400×950×1750
1600×1150×1750
重量(kg)
240
250
300
380
承重(kg)
25
測量精度
XY軸*
E2=(2.0+L/300)μm
E2=(2.5+L/300)μm
Z軸**
E1=(5.0+L/200)μm
速度
XY軸
200mm/S
Z軸
100mm/S
光柵尺
Renishaw光柵尺,0.4μm分辨率
CCD
SONY 1/2"CCD 黑白/彩色
光源
輪廓光
LED冷光源,256級亮度可調
表麵光
6環8區LED冷光源,各段獨立操控,256級亮度可調
同軸光
光學系統***
Navitar 6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326
軟件
Vispec測量軟件(高端版)
運動控制
自主專利的CNC直流伺服系統
保修期
1年
工作環境
溫度20℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80%
振動<0.002g,低於15Hz
電源
220V/50Hz/10A