商品代碼:3595988

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    【專利產品】非接觸三坐標測量機 微高度測量機 金線精度測量機
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    商品詳細說明

     

               CW2010-Z



                    WDK2010—Z   三坐標
    非接觸式測量機

     

    一、非接觸測量機特點:

       以裂像聚焦指示器為測量原理, 采用高精度光學聚焦點檢測方式進行非接觸高低差測量。不僅可以對準目標影像, 還能觀察測量點的表麵狀態,對高度,深度,高低差等進行測量。本機器的各種鏡筒還具有明暗場,微分乾涉,金相組織,偏光等觀察功能。所以對金線弧高、極細微的間隙高低差、夾雜物、微米以下的突起、細微劃痕進行觀察。

     

    二、非接觸測量機用途:

       適用於矽片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片測試、半導體材料、線束加工蝕刻、液晶電池蓋、導線框架等產品的檢查觀察.也適用於經過磨拋、化學處理的工件表麵的金相組織結構,幾何形狀進行顯微觀測。並且有三維的測量功能,其解析率達0.0005mm。因此是精密零件,集成電路線寬,半導體芯片,光伏電池,光學材料等行業的必用機器。

     

    三、非接觸測量機主要規格:

      1. 鏡筒:鉸鏈式三目頭部  30°傾斜   270°旋轉

      2. 高眼點平場目鏡: WF10X/22

    3.平場復消色差物鏡:(可根據使用需求選擇不同倍率的物鏡)

    f=200mm用全平場復消色差物鏡/MPlan APO

    物鏡數據

     

    倍率

    2X

    5X

    10X

    20X

    50X

    100X

    NA

    0.055

    0.14

    0.28

    0.42

    0.55

    0.55

    W.D(mm)

    34

    34

    33.5

    20

    13

    13

    焦點距離(mm)

    100

    40

    20

    10

    4

    2

    分解率(μm)

    5

    2

    1

    0.7

    0.5

    0.5

    焦深(μm)

    91

    14

    3.58

    1.6

    0.9

    0.9

     

      4. 水平轉換器:五孔轉換器,可保證測量精度

      5. 落射式照明系統:高亮度LED燈(5W)

      6. 調焦結構:粗微動同軸調焦, 帶鎖緊和限位裝置,

    粗動升降范圍30mm,微動格值,0.001mm*100格,數顯解析值 0.0005mm。

      7. 透射光源:LED光源,1W,亮度可調

    1. Z軸升降范圍:38mm以內,手輪轉動130mm  允許最高工件 130mm,

    導軌精度3+L/1000

    X軸移動范圍:200mm  解析率:0.001mm  可解鎖手動快進,

     Y軸移動范圍:100mm  解析率:0.001mm  可解鎖手動快進,

        測量精度(3+L/100)um  (L: 被測長度,um)

        落射光測量誤差≤0.08% 

      9.Z軸采用裂像法原理進行觀察並測量,結合精密的Z軸導軌,可有效保證測量的準確度。

      10.工作臺尺寸: 360mm*250mm  玻璃板尺寸: 225mm *175mm  工作臺承重: 30kg 

      11.機器外型尺寸:380mm*550mm*830mm 

      12.凈重:100kg  毛重:120kg 

     
    四、非接觸測量機對焦圖標:

     

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