Z 軸裝有數顯弧形標尺，可以提供更大的測量范圍和更高的分辨率，從而不必再依靠測量倍率。
技術參數
X1 軸
測量范圍: 50mm (CV-1000) 或 100mm(CV-2000)
分辨率: 0.2µm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅動速度: 0.2, 1mm/s 和手動
測量速度: 0.2, 0.5mm/s
移動方向: 向後
直線度: 3.5µm/50mm (CV-1000),
3.5µm/100mm (CV-2000)
* 當X 軸在水平方向上
指示精度: ±(3.5+2L/100)µm
* L 為驅動長度(mm)
傾斜范圍: ±45° (CV-2000)
Z2 軸(立柱，僅用於CV-2000)
立柱類型: 電動(S4 型) 和手動(M4 型)
垂直行程: 250mm (S4 型), 320mm (M4 型)
分辨率: 0.2µm (S4 型)
檢測方法: ABSOLUTE 線性編碼器 (S4 型)
驅動速度: 0 - 5mm/s 和手動
技術參數
X1 軸
測量范圍: 50mm (CV-1000) 或 100mm(CV-2000)
分辨率: 0.2µm
檢測方法: 反射型線性編碼器
驅動速度: 0.2, 1mm/s 和手動
測量速度: 0.2, 0.5mm/s
移動方向: 向後
直線度: 3.5µm/50mm (CV-1000),
3.5µm/100mm (CV-2000)
* 當X 軸在水平方向上
指示精度: ±(3.5+2L/100)µm
* L 為驅動長度(mm)
傾斜范圍: ±45° (CV-2000)
Z2 軸(立柱，僅用於CV-2000)
立柱類型: 電動(S4 型) 和手動(M4 型)
垂直行程: 250mm (S4 型), 320mm (M4 型)
分辨率: 0.2µm (S4 型)
檢測方法: ABSOLUTE 線性編碼器 (S4 型)
驅動速度: 0 - 5mm/s 和手動
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