| 垂直軸偏轉系數 | ||
 | 集電療電流范圍 | 20μA/DIV～1A/DIV 分15檔，誤差不超過±3% |
| 二極管反向漏電流 | 0.2μA/DIV～10μA/DIV 分6檔 2μA/DIV～10μA/DIV，誤差不超過±3% 0.2μA/DIV～1μA/DIV，誤差不超過±10% 2μA/DIV檔乾擾≤0.5V/DIV |
| 基極電流或基極源電壓 | 20mV/DIV，誤差不超過±3%，偏轉倍率×0.5，誤差不超過±10％ |
| ||
| 水平軸偏轉系數 | ||
| 集電療電壓范圍 | 0.05V/DIV～50V/DIV 分10檔，誤差不超過±3% |
| 二極管漏電流電壓范圍 | 100V/DIV～500V/DIV 分3檔，誤差不超過±5% （選配5kV高壓測試臺） |
| 基極電壓范圍 | 0.05V/DIV～2V/DIV ，分6檔，誤差不超過±3% |
| 基極電流或基極源電壓 | 0.1V/DIV誤差不超過±3% |
| ||
| 階梯電流 | ||
| 階梯電流范圍 | 1μA/級～0.1A/級，分16檔，誤差不超過±5% |
| 階梯電壓范圍 | 0.05V/級～2V/級 ，分6檔，誤差不超過±5% |
| 串聯電阻 | 1kΩ、10kΩ、100kΩ分3檔，誤差不超過±5% |
| 每簇級數 | 4～10級連續可調 |
| 階梯電流 | 不小於±1DIV |
| 每秒級數 | 200（市電頻率為50Hz） |
| 階梯極性 | 正或負 |
| 階梯形式 | 連續或單簇 |
| ||
| 集電療掃描電源 | ||
| 集電療掃描電源的最大電流 | 0～5V檔： 10A 0～20V檔： 2.5A 0～100V檔： 0.5A 0～500V檔： 0.1A |
| 功耗電阻 | 0～500kΩ分11檔 10Ω～500kΩ誤差不超過±10% 0.5Ω～2.5Ω誤差不超過±20% |
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