518系列——高性能2D測量系統
| 測量范圍0-350mm/0-600mm | |||||
| 分辨率0.001mm、0.005mm0.001mm、0.005mm | |||||
| 精度**±(2.8+5L/1000)um±(2.8+5L/1000)um | |||||
重復精度2σ≤1.8um2σ≤1.8um | |||||
特點：
采用新型、高精度、高分辯率絕
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518系列——高性能2D測量系統
| 測量范圍0-350mm/0-600mm | |||||
| 分辨率0.001mm、0.005mm0.001mm、0.005mm | |||||
| 精度**±(2.8+5L/1000)um±(2.8+5L/1000)um | |||||
重復精度2σ≤1.8um2σ≤1.8um | |||||
特點：
采用新型、高精度、高分辯率絕
