激光調阻機
激光調阻機的成功研制對推動我國微電子行業的產業升級起到重要作用。激光調阻機是利用激光技術對厚、薄膜電路進行修調,以得到高精度的電阻值或精準的輸出信號。公司生產的激光調阻機全部擁有自主知識產權,采用高質量的激光源和精密的測量系統,空氣懸浮平麵運動機構,各項性能指標達到先進水平,是取代進口產品之首選。
設備特點
•調阻效率高:調阻速度相對國內其它激光調阻產品高出4-10倍,產能大大提升,單位成本下降。
•調阻精度高:獨特的測控技術,測量控制系統精度的一致性好,提升產品附加值;成品率高,單位成本下降。
•軟件可編程:可輕松實現客戶的不同需求以及高自動化運行,也可作為專門的測試平臺,適應性廣。
•使用成本低:采用瞭最先進的激光器,無耗材,使用成本最低,長期使用節約大量的費用。
•多功能:可實現陶瓷基片的激光劃線、打標,減少設備的再投入。
•專業大理石基座,可有效減小工作臺啟動、停止和加速過程中產生的震動,同時保持機臺溫度的穩定性,可靠性高。
技術參數
激光部分 | 型號規格 | SFT310 | SFT320 |
激光波長 | 1064nm | ||
激光功率 | 10W | 20W | |
典型光斑尺寸 | 35±5µm | ||
對焦方式 | 計算機程序控制 | ||
冷卻方式 | 風冷 | ||
激光束定位系統 | 激光束運動范圍 | 50mm X 50mm | |
運動分辨率 | 0.76µm | ||
重復定位精度 | ±2.5µm | ||
分步重復機械運動系統 | 運動方式 | 空氣懸浮運動,無摩擦力 | |
運動范圍 | 290mm*260mm | ||
重復定位精度 | ±2µm | ||
最大運動速度(空載) | 900mm/s | ||
測量系統 | 電阻測量方式 | 四線制測量或二線制測量 | |
電阻測量精度 | 最中阻0.02% | ||
電阻測量范圍 | 0.1Ω-100MΩ | ||
電阻測量速度 | 25µs | ||
零點及滿程誤差校正 | 外接標準電阻板軟件自動校正 | ||
探針定義 | 可編程任意設定 | ||
探針板運動 | 計算機程序控制 |
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