性能參數
測試的條件是：SM5651激勵電流源為1.5mA，室溫為25℃；SM5652激勵電壓源為10.00V DC，室溫25℃，除非另有規定。
| 最小值 | 典型值 | 最大值 | 單位 |
激勵源 |
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激勵電壓源 DC（SM5652） | >0 | 10.00 | 20.00 | V |
激勵電流源 DC（SM5651） | >0 | 1.50 | 3.00 | mA |
滿量程輸出 |
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SM5651滿量程輸出 | 25.0 | 45.0 | 75.0 | mV |
SM5652滿量程輸出 | 24.5 | 25.0 | 25.5 | mV |
零點輸出 | -2.00 | +0.20 | 2.00 | mV |
溫度系數 |
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滿量程溫度系數 | -0.65 | +0.20 | 0.65 | %FS |
零點溫度系數 | -1.00 | +0.20 | 1.00 | %FS |
溫度遲滯性 | -0.30 | +0.05 | 0.30 | %FS |
準確度 |
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線性度（非線性誤差） | -0.30 | +0.05 | +0.30 | %FS |
重復性 | -0.30 | +0.05 | +0.30 | %FS |
壓力遲滯性 | -0.30 | +0.05 | +0.30 | %FS |
靈敏度匹配性 | -2.0 | -0.2 | +2.0 | %FS |
阻抗（SM5651） |
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輸入阻抗 | 1.80 | 3.00 | 3.80 | kΩ |
輸出阻抗 | 2.70 | 3.30 | 3.80 | kΩ |
阻抗（SM5652） |
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輸入阻抗 | 4.50 | 8.00 | 25.00 | kΩ |
輸出阻抗 | 2.00 | 2.50 | 3.80 | kΩ |
溫度范圍 |
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補償溫度 | +0 |
| +60 | ℃ |
工作溫度 | -40 |
| +125 | ℃ |
存儲溫度 | -40 |
| +125 | ℃ |
動力特性 |
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耐壓 | 10ⅹ |
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| Rated FS |
爆破壓力 | 15ⅹ |
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| Rated FS |
備註：
1、正壓指的是從晶圓底部進入；增益，在工廠校準使用的是負壓
2、對於SM5652,量程為0.15psi的滿量程輸出是23.75mV(最小)至26.25（最大）
3、測量溫度超過22~58℃
對於量程為0.15psi，滿量程溫度系數為±2%FS；零點溫度系數為±2%FS；對於量程為0.3psi，滿量程溫度系數為±0.75%FS
4、對於量程為0.3psi，遲滯性為±0.45%FS；對於量程為0.15psi，遲滯性為±0.65%FS
5、最佳直線擬合，是從晶圓頂部測量的
對於量程為0.3psi，線性度為±0.5%FS；對於量程為0.15psi，線性度為±2.5%FS
6、靈敏度匹配指的是部分與部分匹配的程度，對於量程為0.15psi，靈敏度匹配性為5.0%FS
電氣連接
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註意：
SM5651/SM5652應註意兩個管的接氣方式，基板上有數字的那個接氣管接正氣壓，另外一個接氣管接負氣壓。（這裡所說的正、負氣壓隻是兩者之間氣壓的大與小）
選型指南
SM5651/SM5652壓阻式壓力傳感器 SM5651—003—D—3—L
型號 | 測量壓力范圍 | 壓力類型 | 引腳配置 | 長短接管 |
SM5651/SM5652 | 001 | D | 3 | L |
SM5651/SM5652 | 003 | G | 5 | S |
SM5651/SM5652 | 008 | D | 3 | L |
SM5651/SM5652 | 015 | G | 5 | S |
SM5651/SM5652 | 030 | D | 3 | L |
測量壓力范圍 | 壓力類型 | 引腳配置 | 長短接管 | |
PSI | SM5651/SM5652 |
A—絕壓 D—差壓 G—表壓 |
3：引腳與接氣管相反的方向 5：表麵貼裝引腳與接氣管對麵方向
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L：長接氣管 S：短接氣管
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0.15 | 001 | |||
0.30 | 003 | |||
0.80 | 008 | |||
1.50 | 015 | |||
3.00 | 030 | |||
備註：
SM5651/SM5652有表壓、差壓類型，產品外形尺寸以說明書上標註為準，產品升級或其他改動我們會另行通知
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