激光調阻機
激光調阻原理就是利用一束極細的激光束打在厚、薄膜電阻上,通過對電阻體氣化蒸發實現厚、薄膜電路的切割。激光束按計算機預定的程序切割厚、薄膜電阻,通過改變厚、薄膜電阻的幾何形狀從而改變電阻的阻值。隨著激光切割過程的進行,同時實時測量電路實時監視厚、薄膜電阻阻值的變化,厚、薄膜電阻的阻值不斷接近目標阻值,當厚、薄膜電阻達到目標阻值後激光束關閉,即實現激光調阻過程。
設備特點
•調阻效率高:調阻速度相對國內其它激光調阻產品高出4-10倍,產能大大提升,單位成本下降。
•調阻精度高:獨特的測控技術,測量控制系統精度的一致性好,提升產品附加值;成品率高,單位成本下降。
•軟件可編程:可輕松實現客戶的不同需求以及高自動化運行,也可作為專門的測試平臺,適應性廣。
•使用成本低:采用瞭最先進的激光器,無耗材,使用成本最低,長期使用節約大量的費用。
•多功能:可實現陶瓷基片的激光劃線、打標,減少設備的再投入。
•專業大理石基座,可有效減小工作臺啟動、停止和加速過程中產生的震動,同時保持機臺溫度的穩定性,可靠性高。
技術參數
激光部分 | 型號規格 | SFT310 | SFT320 |
激光波長 | 1064nm | ||
激光功率 | 10W | 20W | |
典型光斑尺寸 | 35±5µm | ||
對焦方式 | 計算機程序控制 | ||
冷卻方式 | 風冷 | ||
激光束定位系統 | 激光束運動范圍 | 50mm X 50mm | |
運動分辨率 | 0.76µm | ||
重復定位精度 | ±2.5µm | ||
分步重復機械運動系統 | 運動方式 | 空氣懸浮運動,無摩擦力 | |
運動范圍 | 290mm*260mm | ||
重復定位精度 | ±2µm | ||
最大運動速度(空載) | 900mm/s | ||
測量系統 | 電阻測量方式 | 四線制測量或二線制測量 | |
電阻測量精度 | 最中阻0.02% | ||
電阻測量范圍 | 0.1Ω-100MΩ | ||
電阻測量速度 | 25µs | ||
零點及滿程誤差校正 | 外接標準電阻板軟件自動校正 | ||
探針定義 | 可編程任意設定 | ||
探針板運動 | 計算機程序控制 |
公司名稱:武漢三工光電設備制造有限公司
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