美國A&N公司為VEECO的MOCVD設備生產的原廠配件。

同樣德國AIXTRON設備同樣造用。

產品特點：

Vacuum rating of 1x10^-8torr

適合在高真空環境下使用，真空度可以達到1x10^-8torr

Bakeable to 150^oC (200^oC intermittent)

適用於150攝氏度高溫長期使用（瞬時測度200度）

Manufactured from 316L stainless steel

由高品質SUS316L材質的不有銹鋼材質制成，強度更好。

High conductance; straight through flow

高導電性，氣體流動順暢

Particulate resistant ball/seat design lengthens time between maintenance cycles

防塵球閥設計，壽命長。

Service valve without removal from the system

可以實在在線維護，無需要拆解。

新手教學

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