真空井式坩堝爐
本設備是由石英坩堝（或氧化鋁陶瓷坩堝）和不銹鋼法蘭組成的真空坩堝爐。主要用於煅燒真空或惰性氣體保護下的高純度化合物或
擴散半導體晶片，也可用於烘燒或燒結陶瓷材料。
真空井式坩堝爐
型號Type：QSH-VCF-1200T | |
爐膛尺寸：外徑205x內徑190 x高340mm | Chamber size :O.D.205 x I.D.190 x H340 |
最高工作溫度:1200 | Max temperature :1200℃ |
工作溫度:1100 | Working temperature :1100℃ |
加熱元件：含鉬電阻絲 | Heating elements : Fe –Cr-Al-Mo wire |
控溫方式：51段可編程自動控制 | Temperature control :51 segments programmable and PID auto control |
升溫速率: 0~30℃/分 | Heating rate : 0~30℃/min |
溫控精度:±1℃ | Temperature accuracy:±1℃ |
最大真空度:-0.1MPa | Max vacuum :-0.1MPa |
爐膛材料：陶瓷纖維毯 | Furnace chamber : ceramic fiber |
爐殼：雙層風冷結構 | Furnace structure :double shell with fan cooling |
額定功率：3KW | Rated Power :3KW |
型號Type：QSH-VCF-1600T | |
爐膛尺寸：外徑150x內徑130 x高200mm | Chamber size :O.D.150 x I.D.130 x H200 |
最高工作溫度:1550 | Max temperature :1550℃ |
工作溫度:1500 | Working temperature :1500℃ |
加熱元件：矽鉬棒 | Heating elements : MoSi2 heating elements |
控溫方式：51段可編程自動控制 | Temperature control :51 segments programmable and PID auto control |
升溫速率: 0～30℃/分 | Heating rate : 0～30℃/min |
溫控精度:±1℃ | Temperature accuracy:±1℃ |
最大真空度:-0.1MPa | Max vacuum :-0.1MPa |
爐膛材料：陶瓷纖維毯 | Furnace chamber : ceramic fiber |
爐殼：雙層風冷結構 | Furnace structure :double shell with fan cooling |
額定功率：6KW | Rated Power :6KW |
溫控程序曲線示意圖（六段為例）：
溫控程序對應符號及其意義：
提示符 | 輸入數據 | 意義 |
C 01 | 0 | 起始溫度值 |
t 01 | 60 | 從0~300℃的升值時間為60分鐘 |
C 02 | 300 | 第一個目標溫度值 |
t 02 | 10 | 300℃保溫時間10分鐘 |
C 03 | 300 | 第二個目標溫度值 |
t 03 | 240 | 從300~1500℃的升值時間為240分鐘 |
C 04 | 1500 | 第三個目標溫度值 |
t 04 | 30 | 1500℃恒溫時間10分鐘 |
C 05 | 1500 | 第四個目標溫度值 |
t 05 | 260 | 從1500~200℃的升值時間為260分鐘 |
C 06 | 200 | 第五個目標溫度值 |
t 06 | －121 | 程序運行結束，自然降溫 |
常見故障及故障排除
故障現象 | 故障原因 | 排除方法 |
打開控制電源開關Lock 無電源指示 | 控制線路FU1 4A保險絲斷 | 檢查有無短路排除後更換保險絲 |
綠色Power指示燈滅，紅色Open circuit指示燈亮。 | 主電路FU2 32A保險絲斷 | 檢查有無短路排除後更換保險絲 |
電壓最大，無電流。 | 矽鉬棒斷裂 | 更換矽鉬棒 |
機表SV交替顯示OraL | 熱電偶斷路 | 更換熱電偶 |
機表SV交替顯示HIAL | 爐體超過上限溫度1700℃機表起保護 | 溫度降至安全溫度後機表自動恢復正常（檢查超溫原因） |
電源及矽鉬棒都正常，但爐體不能升溫 | 控制線路損壞 | 通知專業維修人員。 |
說明：1、本產品的規格參數僅供參考，以具體產品實際參數為準，請與銷售及咨詢客服人員。
2、產品圖片及外觀尺寸在不斷研發更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除標準產品外、我公司可根據客戶要求，進行設計生產，具體與銷售人員聯系。
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服務內容：
◇設備保修期：驗收合格後12個月內。在保修期內設備因質量缺陷出現故障，我方提供免費服務。
◇免費提供技術指導安裝及設備調試服務。
◇終身優惠價提供易損部件及相關耗材，並協助用戶進行設備維護及配件更換。
◇可為用戶培訓技術操作人員，免收培訓費，食、宿、交通費用自理。
◇可為用戶提供相關設備在不同場合下的使用方法及技術指導工作。
服務保障體系：
公司專設售後服務中心，開通24小時報修電話，接到報修電話，維修人員將在1～2工作日內趕往現場。一般故障48小時內解決，
重大故障3日內解決。
◇服務中心專人專線負責解答用戶在設備使用過程中的種種問題。
◇聯系電話：021-58923658
◇電子信箱：[email protected][email protected]
服務監督：
為瞭監督公司維修服務人員的售後服務質量，公司專門設立投訴電話，將及時、準確的記錄用戶意見並迅速做出反應。
◇聯系電話：021-58933728
◇電子信箱：[email protected] [email protected]
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