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三菱化學機器電阻率計總代理
QQ:121718963 電話13215365008 吳先生
日本ORC紫外線光量計UV-M03A|照度計UV-M03A
小型?軽量な、ハンディタイプ計測器です。紫外線ランプを搭載した裝置を製造現場で管理する目的に適しています。紫外線ランプのUV照射量(照度?光量)管理にご使用ください。 |
◆ 特 徴 |
? | 露光裝置の照度と光量の管理が手軽にできる小型?軽量のハンディタイプです。 |
? | 紫外線照度と光量が手軽に測定できます。 |
? | 受光器は、ご使用されている(ご使用予定の)光源とレジスト等の感度にあわせてUV-25,35,42用をご選択いただきます。ただし電子回路(プリント)基板の製造工程でお使いの場合にはUV-SN25,UV-SN35,UV-SN42を、半導體、液晶用基板の製造工程でお使いの場合にはUV-SD25,UV-SD35,UV-SD42をご選択されるように推奨します |
? | 測定データは、RS-232C通信出力を介して転送できます。 |
? | アナログ出力も備えています。 |
◆ SD型とSN型について |
SN型は古くから當社製の露光裝置や照射裝置等をお使いいただいているお客様に広く採用されているもので、プロセス管理の継続性を確保しています。 SD型は半導體や液晶用基板の製造プロセスの現場で、すでに他社製の照度計をお使いのお客様が、それらの計測器とのデータの互換性確保を重視される場合(當社製の露光裝置でも投影型露光裝置や液晶基板用の周辺露光裝置にはSD型が採用されています)や、全く新規に照度計などをお使いになられるお客様に推奨しています。 |
◆ SD型とSN型の指示値について |
SN型は古くからのプロセスデータの互換性を確保するようにSD型の指示値(當社計測グループで校正用の放射源として使用している高圧UVランプの365nmの輝線を同一の測定條件で測定した時に示される照度の値: mW/cm2 表示)に対して39%高く表示するように調整されています。 |
◆ 他社製照度計とのデータ互換性について |
可視光用の照度計(傢庭?事務所?店舗?美術館などの明るさをLUX単位で測る照度計)と違い、紫外線用の照度計の全てに適用される規格は未だ整えられていません(ごく一部の限定された用途でJIS化の作業は行われているようです)。 各社の相対分光感度は、365nmの輝線を主體とした光源による照度を測定する目的で作られていても、測定のピーク波長(相対分光感度特性が1で示されている波長)を初めとして、短波長側(300nm~310nm前後)と長波長側(380nm~400nm前後)の立ち上り、立ち下ろしの波長とその前後の曲線が少しずつ異なっています。 またCOSθ特性と言われている受光器の持つ受光角特性も理想曲線に近づけようと、設計麵で努力されていますが、中々実現されていないのが現実です。 |
◆ 仕 様 |
受光器(交換式) | UV-SD35(UV-SN35) | |
測定波長領域 | 310~385nm | |
測定照度範囲 | 0.001~50mW/cm2 | |
測定光量範囲 | 0.001~19999mJ/cm2 | |
合わせ込み精度 | 當社UV標準器に対して±1.5%以內 | |
繰り返し精度 | ±1.5%以內 |
◆ UV計測器 受光器 分光感度特性 |
新手教學
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