本公司提供的平晶均為一級 *平麵平晶是以光波乾涉原理為基礎,利用平晶的測量麵與試件的被測量麵之間所出現的乾涉條紋來測量被測量麵的平麵度。 |
平麵直徑d(mm) | 基本參數 | |||
1級 | 2級 | |||
d范圍內 | 2/3d范圍內 | d范圍內 | 2/3d范圍內 | |
30 45 60 | 0.03 | ---- | 0.1 | 0.05 |
80 100 150 | 0.05 | 0.03 | ||
200 250 300 | 0.08 0.1 0.15 | 0.05 0.05 0.09 | 0.12 0.15 0.2 | 0.06 0.08 0.1 |
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