ALICAT 21系列標準氣體質量流量控制器
滿量程：從0.5CCM到1500LPM+；響應時間：100毫秒；精度：±0.8%讀數±0.2%滿量程（高精度選項±0.4%讀數±0.2%滿量程）；30種氣體選擇，無須重新校驗；本地控制能力，動態數字顯示；輸入/輸出：RS-232、4-20mA、0-5/10VDC
產品特點：
1. 滿量程從0.5(S)CCM到4000(S)LPM
2. 響應時間10ms
3. 量程比優於100：1
4. 精度±0.8％讀數±0.2％FS（可選±0.4％讀 讀數±0.2％FS）
5. LCD大屏幕，動態數字同時顯示質量流量、 量、體積流量、溫度和絕壓
6. RS-232或模擬信號輸出
7. 安裝位置不敏感
8. 現場可選30種校驗氣體
Alicat氣體質量流量控制器、體積流量控制器性能指標指標 質量流量控制器 體積流量控制器 描述 標準量程 0.5，1，2，5，10，20，50，100，200，500 (S)CCM；
1，2，5，10，20，50，100，250，500，1000，1500(S)LPM滿量程 精度 ±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程） 滿量程 重復性 ±0.5% 滿量程 量程比 100:1 測量和控制 響應時間 100 毫秒（可調） 標準狀態(STP) 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） 無 僅測量質量流量用 溫度范圍 -10～50 ℃ 零點漂移 0.02％ 滿量程/℃/Atm 量程漂移 0.02％ 滿量程/℃/Atm 濕度范圍 0-100% 無冷凝 測量流量范圍 102.4％ 滿量程 最大耐壓 150 150* PSIG 輸入/輸出（數字） 質量流量、體積流量、絕壓和溫度 體積流量 RS-232串口 輸入/輸出（模擬） 質量流量 體積流量 0-5VDC 可選輸入/輸出
第二路模擬可選輸入/輸出
第二路模擬 質量流量、體積流量、絕壓或溫度體積流量 0-5VDC,0-10VDC或4-20mA 電氣連接 8針 小型圓插頭 供電電壓 12-18VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC）** 供電電流 0.250A 安裝位置敏感度 0% 預熱時間 ＜1 秒 接液材質 303&302不銹鋼，Viton?，RTV矽樹脂，玻璃纖維增強尼龍，鋁，銅，410不銹鋼 *對於體積流量控制器，若入口壓力＞10PSIG時，須同廠傢聯系。
**使用24V時需指定24V線圈.
ALICAT氣體質量流量控制器和體積流量控制器機械指標質量流量控制器
滿量程范圍體積流量控制器
滿量程范圍尺寸 過程連接 壓降**（PSID） 0.5SCCM～1SCCM 0.5CCM～1CCM 3.9″Hх3.5″Wх1.1″D 10-32UNF * 0.5 2SCCM～50SCCM 2CCM～50CCM 1.0 ＞50SCCM～500SCCM ＞50CCM～500CCM 4.1″Hх3.6″Wх1.1″D 1/8″NPT內螺紋 1.0 1SLPM 1LPM 1.5 5SLPM 5LPM 2.0 10SLPM 10LPM 5.0 20SLPM 20LPM 4.2″Hх3.6″Wх1.1″D 1/8″NPT內螺紋 20.0 ＞20SLPM ＞20LPM 4.7″Hх6.9″Wх2.3″D 1/4″NPT內螺紋 2.5 100SLPM 100LPM 4.7″Hх7.4″Wх2.3″D 5.0 250SLPM 250LPM 5.0″Hх6.9″Wх2.3″D 1/2″NPT內螺紋 10.0 ＞250SLPM ＞250LPM 5.0″Hх7.4″Wх2.3″D 3/4″NPT內螺紋 4.1 1000SLPM 1000LPM 12.3 1500SLPM 1500LPM 23.3 *可選1/8″NPT內螺紋。
**可選擇更低的壓降，請聯系廠傢。
註意事項：特別低的流量裝置可能配有特殊接口以減少死區量。有時候，特殊的流量/壓力條件可能規定各種接口尺寸的組合。
產品選型：請聯系我公司並索取詳細資料
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